진공센서 교체방법
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1. 제조사 : ULVAC
2. 진공계 : ISG1
3. 센 서 : G-TRAN SP1
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https://youtu.be/if0Qs2AQe_0
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1. 제조사 : ULVAC
2. 진공계 : ISG1
3. 센 서 : G-TRAN SP1